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氮化硅塊
氮化硅陶瓷材料具有熱穩(wěn)定性高、抗氧化能力強(qiáng)以及產(chǎn)品尺寸精確度高等優(yōu)良性能。由于氮化硅是鍵強(qiáng)高的共價(jià)化合物,并在空氣中能形成氧化物保護(hù)膜,所以還具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,1200℃以下不被氧化,1200~1600℃生成保護(hù)膜可防止進(jìn)一步氧化,并且不被鋁、鉛、錫、銀、黃銅、鎳等很多種熔融金屬或合金所浸潤(rùn)或腐蝕,但能被鎂、鎳鉻合金、不銹鋼等熔液所腐蝕。
氮化硅陶瓷材料可用于高溫工程的部件,冶金工業(yè)等方面的高級(jí)耐火材料,化工工業(yè)中抗腐蝕部件和密封部件,機(jī)械加工工業(yè)的刀具和刃具等。
由于氮化硅與碳化硅、氧化鋁、二氧化釷、氮化硼等能形成很強(qiáng)的結(jié)合,所以可用作結(jié)合材料,以不同配比進(jìn)行改性。
此外,氮化硅還能應(yīng)用到太陽(yáng)能電池中。用PECVD法鍍氮化硅膜后,不但能作為減反射膜可減小入射光的反射,而且,在氮化硅薄膜的沉積過(guò)程中,反應(yīng)產(chǎn)物氫原子進(jìn)入氮化硅薄膜以及硅片內(nèi),起到了鈍化缺陷的作用。這里的氮化硅氮硅原子數(shù)目比并不是嚴(yán)格的4:3,而是根據(jù)工藝條件的不同而在一定范圍內(nèi)波動(dòng),不同的原子比例對(duì)應(yīng)的薄膜的物理性質(zhì)有所不同。
用于超高溫燃?xì)馔钙?,飛機(jī)引擎,電爐等。
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